機器名称
X線マイクロアナライザー
設置場所
小金井キャンパス5号館1階 学術研究支援総合センター 機器分析施設 機器室8[施設内マップ]
機器の概要(機器の性能など)
0.2~40KeV の電子線を平滑な試料表面に当て、発生する特性X線の波長から成分元素を識別する(定性または半定量測定)。
条件が満たされれば、特性X線の強度から濃度を求めることもできる(定量測定)。但し、この場合は一般に補正が必要。
走査電顕としての機能もあり2次電子像(SEM)、反射電子像(BSE)、吸収電子像が観測出来る。
分析元素範囲 B~U
X線分光器:波長分散形(WDS) 3基(結晶 6枚)、エネルギー分散形(EDS) 1基
機器の構成、型式等
日本電子(JEOL)製 JXA-8900M
附属機器:蒸着装置、ダイヤモンドカッター、研磨機、パーソナルコンピューター(MAC)、プリンタ
測定、利用対象となる試料名、または研究例
測定、利用対象となる試料名:金属材料、鉱物、触媒、ガラス、セラミック等、不揮発性の固体。
有機物類はカ-ボン蒸着をしても、極めて微弱な電子線を用いてSEM像を撮る場合を除き、強い電子線による分解が起こり装置内部を汚染する可能性が強いので、通常は不適当。
利用方法
X線作業従事者登録(庶務係扱い)を済ませた後、管理者による講習(不定期)を受けてから利用していただきます。
講習を受けた後もマニュアルを参照しながら進めてください。
年度毎に利用時間をもとに利用料金を計算し、翌年度の運営交付金により移し替えをさせて頂きます。
講習会、利用料金等は、下記に問い合わせてください。