- 300MHz 核磁気共鳴装置
- 400MHz 核磁気共鳴装置
- 500MHz 核磁気共鳴装置
- 固体核磁気共鳴装置
- 質量分析装置(高分解能)
- 質量分析装置(低分解能)
- 走査電子顕微鏡
- X線光電子分光装置
- 単結晶X線構造解析装置
- 多目的強力X線回折装置
- 結晶薄膜X線回折装置(封入管)
- 結晶薄膜X線回折装置(回転対陰極)
- 透過型電子顕微鏡
- 粉末X線回折装置
- X線マイクロアナライザー
- 解析装置付万能引張試験機
- 液体窒素貯蔵タンク
機器名称
走査電子顕微鏡
設置場所
小金井キャンパス5号館1階 学術研究支援総合センター 機器分析施設 機器室4［施設内マップ］
機器の概要（機器の性能など）
本装置の特徴としては以下のことが挙げられる。
- 電子銃にホウ化ランタン(LaB6)単結晶チップを使用。
- 二次電子像の他、反射電子像の観測が可能。
- 操作は、制御用コンピュータにより全てマウス操作で行うことができる。
主な仕様を以下に示す。
走査電子顕微鏡(SEM)：フィリップス XL-30
加速電圧：0.2～30kV、倍率範囲：10～400,000倍、ステージ駆動範囲：X-Y；50×50mm、Z；20mm、傾斜；-15～75°、分解能：2nm
エネルギー分散型X線元素分析装置(EDX)：EDAX DX-4
検出可能元素：Na(11)～U(92)
機能：定性分析、定量分析、線マッピング、面分析、線分析、点分析
機器の構成、型式等
上記に示すとおり、走査電子顕微鏡（SEM）本体とエネルギー分散型X線元素分析装置（EDX）から構成される。
測定、利用対象となる試料名、または研究例
試料の材質については、高真空環境下で試料室内を汚染しない物質であれば特に制約はない.
ただし試料サイズは、X-Y；200mmφ、Z；55mm以下であること。
利用方法
本装置の熟練ユーザーまたは機器分析施設の専任職員の指導のもとで操作方法を習得した後、操作認定試験を実施し、合格した者のみ単独使用を許可する。電子顕微鏡に関する緊急連絡は下記の管理者まで連絡のこと。利用上の注意点はここからご覧下さい
利用に際しては、機器分析施設のウェブサイト上にある電子顕微鏡予約システムからあらかじめ予約を行うこととする。予約システムのアカウントならびにパスワードの申請も下記連絡先まで問い合わせて下さい。
cc.tuat.ac.jp
