工業検査用システム
企業への技術移転により工業非破壊検査への実用化を目指しています．
音響誘起電磁（ASEM）計測
イノベーションガレージ
医療分野への社会実装を目指して研究開発をしています．
ASEM画像化システム
超音波により組織情報を可視化するシステムです．
デバイス加工設備
電子線描画装置（共有設備）
50nm以下の超微細加工が可能です．
フォトリソグラフィ装置
2μmまでの微細加工が可能です．
走査型電子顕微鏡
デバイス観察・評価に用います．
極低温・強磁場設備
希釈冷凍機/3He冷凍機
極低温，強磁場下で量子素子を動作させます．