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設備・研究環境

清水研究室ではデバイスの作製から評価まで行っています。ほとんどが初めて扱う実験装置ですが、卒業研究や大学院の研究を修了する頃には、誰もが実験装置を使いこなし、研究成果を発表できるようになります。デバイスの作製・評価を通じて講義やシミュレーションだけでは身につかない工学的なセンスを養います。

素子の評価装置

  • 光学定盤4台 (光ファイバを用いた光デバイス評価用 2台、分光・センシング用 2台)
  • 電磁石3台 磁場の発生装置
  • 精密電流源、Source Measure Unit
  • 波長可変レーザ
  • 光パワーメータ
  • ロックインアンプ
  • 光スペクトラムアナライザ 1台
  • 近赤外光検出用カメラ 1台
  • デジタルサンプリングオシロスコープ 2台
  • ピエゾ光学変調器
  • レンズ、偏光制御光学素子等各種光学部品

素子の実装・観察装置

  • ウェッジ式ワイヤーボンディング装置
  • 精密へき開装置
  • 実体顕微鏡
  • デジタルカメラ付顕微鏡

素子の作製装置

  • 3連電子ビーム蒸着装置
    強磁性金属や電極金属の蒸着を行います。
  • 反応性ドライエッチング装置
    プラズマプロセスによってSiやSiO2を加工します。
  • マグネトロンスパッタ装置
    SiO2を製膜します。
  • 新1号館クリーンルームの装置群
    電極パターンや光導波路のパターンを転写したり、加工したりします。
  • VBLクリーンルームの装置群
    電子線描画装置 JBX6300 (日本電子製) シミュレーションした光導波路を電子線描画装置にて描画します。重ね描画を含め光導波路パターンを形成します。
  • 東京工業大学微細加工プラットフォームにて微細加工を行います
  • 東京農工大学 学術研究支援総合センター 機器分析施設
  • 電子顕微鏡 日立・ S-4500 作製した素子を電子顕微鏡で観察し、設計通りに素子構造が作製できるかを評価します
  • X線回折装置 スペクトリス・ X’Pert-MRD 作製した薄膜の中の結晶配向性を評価します。
  • 東京農工大学大学院工学研究院 /工学府電気電子工学専攻 清水大雅研究室
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