設備・研究環境
清水研究室ではデバイス・センサの作製から評価まで行っています。ほとんどが初めて扱う実験装置ですが、卒業研究や大学院の研究を修了する頃には、誰もが実験装置を使いこなし、研究成果を発表できるようになります。デバイス・センサの作製・評価を通じて講義やシミュレーションだけでは身につかない工学的なセンスを養います。
素子の評価装置
- 光学定盤4台 (光ファイバを用いた光デバイス評価用 2台、センシング用 2台)
- 電磁石 磁場の発生装置
- 精密電流源、Source Measure Unit
- 波長可変レーザ
- 光パワーメータ
- ロックインアンプ
- 光スペクトラムアナライザ
- 近赤外光検出用カメラ
- デジタルサンプリングオシロスコープ
- レンズ、偏光制御光学素子等各種光学部品
素子の実装・観察装置
- ウェッジ式ワイヤーボンディング装置
- 精密へき開装置
- 実体顕微鏡
- デジタルカメラ付顕微鏡
素子の作製装置
- 3連電子ビーム蒸着装置
強磁性金属や電極金属の蒸着を行います。 - 反応性ドライエッチング装置
プラズマプロセスによってSiやSiO2を加工します。 - マグネトロンスパッタ装置
SiO2を製膜します。 - 新1号館クリーンルームの装置群
電極パターンや光導波路のパターンを転写したり、加工したりします。 - VBLクリーンルームの装置群
電子線描画装置 JBX6300 (日本電子製) シミュレーションした光導波路を電子線描画装置にて描画します。重ね描画を含め光導波路パターンを形成します。 - 東京工業大学微細加工プラットフォームにて微細加工を行います
- 東京農工大学 学術研究支援総合センター 機器分析施設
- 電子顕微鏡 日立・ S-4500 作製した素子を電子顕微鏡で観察し、設計通りに素子構造が作製できるかを評価します
- X線回折装置 スペクトリス・ X’Pert-MRD 作製した薄膜の中の結晶配向性を評価します。
ガスセンサ関連装置
- チャンバー3台
- ヘリウムネオンレーザ
- ファイバ出力赤色LED光源
- ファイバ出力青色LED光源
- 微量ガス発生装置 2台
- マスフローコントローラ 2台
- CMOSカメラ 2台
- ステッピングモータ 3台
