イエロールーム組み立て　(2014/8/1)

Tribology & MEMS Laboratory

 
 

6号館2階にイエロールームを組み立てました。総監督は住谷君で、フレームの設計と発注、フィルタとビニールシートの選定と発注から行いました。ユンジョン研の学生も加わり、2日がかりで組み立てることが出来ました。マスクアライナ、スピンコーターもあり、露光＆現像作業ができるようになりました。