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EBL 電子ビーム露光装置（新）：JEOL JBX-6300FS
EBL 電子ビーム露光装置（旧）：JEOL JBX-5000SH
FPGAs (Virtex-5, Kintex-7, Virtex-7, Zynq 7000 SoC 7020, Zynq UltraScale+ MPSoC ZU15EG, All programmed by XILINX)
PCs 各種計算機（Alpha, Dual Xeon, Athlon MP, C2D, Ci5, Ci7, Ci9, Ryzen Threadripper, Ryzen Threadripper PRO, EPYC）
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