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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2014-02-28 10:50 リアルタイムOSによる時間確定型エレクトロマイグレーション制御システム ○安藤昌澄・金丸祐真・齋藤孝成・白樫淳一（東京農工大）  ED2013-146 SDM2013-161 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2013-146 SDM2013-161 |
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| 抄録 | （和） | 金属細線におけるエレクトロマイグレーション(EM)を利用したナノギャップなどのナノ構造形成技法として，EMの発現強度をフィードバック手法により調整するフィードバック制御型エレクトロマイグレーション(FCE)法が知られている．我々はこれまで，FCE法に分割プロセスを取り入れた分割型電圧フィードバックエレクトロマイグレーション(SFCE)法を提案し，金属ナノチャネルの抵抗制御特性について検討を行ってきた．今回は，フィードバック制御のシステム応答性の観点から，高精度な実時間処理と，厳密な時間スケジューリングに基づくタスク管理を可能にするリアルタイムオペレーティングシステム（RTOS）に着目し，時間確定型エレクトロマイグレーション制御システムの構築を行った．また，開発した本システムをAuチャネルに適用し，その抵抗制御特性についてGPIBと汎用OSを組み合わせた従来のシステムとの比較を行った． |
| （英） | Electromigration method becomes promising for the fabrication of nanogap electrodes. However, the nanogap electrodes fabricated by this method tend to exhibit high tunnel resistance. A feedback-controlled electromigration (FCE) scheme has been successfully and widely employed to make nanogaps with controlled electrical properties. We have already reported that the control of the channel resistance of metal nanowires is performed by stepwise-feedback controlled electromigration (SFCE) using general-purpose operating system (GPOS). SFCE procedure finely and stepwisely divides a conventional FCE scheme into several FCE cycles. Here, we propose SFCE method using real-time operating system (RTOS) in order to precisely and stably tune the channel resistance of metal nanowire at room temperature. GPOS is usually designed to maintain user responsiveness with many programs and services running, while RTOS is designed to run critical applications reliably and with precise timing. In this report, it is revealed that control characteristics of the channel resistance of metal nanowire are successfully improved using RTOS-controlled SFCE method, as compared with SFCE using GPOS. These results indicate that RTOS is useful for the stable control of the channel resistance of metal nanowire using SFCE scheme. | |
| キーワード | （和） | リアルタイムOS / エレクトロマイグレーション / ナノギャップ / 電圧フィードバックエレクトロマイグレーション / / / / |
| （英） | real-time operating system / electromigration / nanogap / feedback-controlled electromigration / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 449, ED2013-146, pp. 77-82, 2014年2月. | |
| 資料番号 | ED2013-146 | |
| 発行日 | 2014-02-20 (ED, SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2013-146 SDM2013-161 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2013-146 SDM2013-161 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED SDM |
| 開催期間 | 2014-02-27 - 2014-02-28 |
| 開催地（和） | 北海道大学百年記念会館 |
| 開催地（英） | Hokkaido Univ. Centennial Hall |
| テーマ（和） | 機能ナノデバイスおよび関連技術 |
| テーマ（英） | Functional nanodevices and related technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2014-02-ED-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | リアルタイムOSによる時間確定型エレクトロマイグレーション制御システム |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Tuning of Resistance of Au Nanowires by Feedback-Controlled Electromigration Using Real-Time Operating System (RTOS) |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | リアルタイムOS / real-time operating system |
| キーワード(2)（和/英） | エレクトロマイグレーション / electromigration |
| キーワード(3)（和/英） | ナノギャップ / nanogap |
| キーワード(4)（和/英） | 電圧フィードバックエレクトロマイグレーション / feedback-controlled electromigration |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 安藤 昌澄 / Masazumi Ando / アンドウ マサズミ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京農工大学 (略称： 東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology (略称： Tokyo Univ. of Agr. & Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 金丸 祐真 / Yuma Kanamaru / カナマル ユウマ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京農工大学 (略称： 東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology (略称： Tokyo Univ. of Agr. & Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 齋藤 孝成 / Takanari Saito / サイトウ タカナリ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東京農工大学 (略称： 東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology (略称： Tokyo Univ. of Agr. & Tech.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 白樫 淳一 / Jun-ichi Shirakashi / シラカシ ジュンイチ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東京農工大学 (略称： 東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology (略称： Tokyo Univ. of Agr. & Tech.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-02-28 10:50:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2013-146, SDM2013-161 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.449(ED), no.450(SDM) |
| ページ範囲 | pp.77-82 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2014-02-20 (ED, SDM) |
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