講演抄録/キーワード |
講演名 |
2013-02-28 11:20
ジュール加熱されたグラフェンの近赤外イメージングによるその場温度測定 ○齋藤孝成・厚母息吹・須田隆太郎・伊藤光樹・白樫淳一(東京農工大) ED2012-142 SDM2012-171 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2012-142 SDM2012-171 |
抄録 |
(和) |
我々は,その場温度観察が可能な近赤外イメージングシステムを利用して,通電下のグラフェンの発熱現象のリアルタイム観察を行った.グラフェンは,ポリイミドフィルムを高温で焼成し作製された安価なグラファイトシートに対して機械的剥離法を適用することで,780 nmの熱酸化膜を有するSiO2/Si基板上に作製した.本研究で使用したグラフェンの膜厚は,フレネルの法則を用いた光学的手法により,およそ20 nmから80 nmと見積もられた.また,本イメージングシステムは,近赤外領域に受光感度を有するCCDカメラと赤外線顕微鏡を組み合わせて独自に開発した.これまでに,本イメージングシステムを用いることにより,通電中のタングステン細線やZn/Ptで構成されたマイクロヒーターの発熱温度分布のIn-Situモニタリングが可能であることを報告している.今回は,本イメージングシステムを利用して,通電下におけるグラフェンの発熱温度分布のその場観察の検討を行った. |
(英) |
We report temperature distribution of graphene during Joule heating process using in-situ Near-Infrared (NIR) Charge-Coupled Device (CCD) imaging system. Graphene layers were prepared by using mechanical exfoliation of pyrolytic graphite sheet (PGS), which is commercially available from an industrial materials company, and deposited on SiO2/Si substrate with approximately 780 nm thermally grown oxide. The thickness of the graphenes was estimated to be 20-80 nm by using the Fresnel theory. In order to investigate the heating process of the graphene, the temperature of the graphene under current flow was estimated using NIR microscopy with a CCD detector. A hand-made, in-situ experimental setup consists of an IR microscope, a NIR CCD and an image enhancer. The CCD detector is mounted on the IR microscope with objective 20x. The experiments were carried out in obscurity. The current heating process applied with constant voltage was performed for the graphene in vacuum, and the temperature distribution of the graphene during NIR emission was successfully detected by in-situ NIR CCD imaging system. The temperature of graphene was detected to be approximately 800 K. These results imply that NIR CCD imaging system is a useful tool for the investigation of the temperature distribution of graphene. |
キーワード |
(和) |
近赤外イメージング / グラフェン / その場観察 / 通電アニール / 発熱温度分布 / / / |
(英) |
Near-Infrared CCD Imaging / Graphene / In-Situ Measurement / Current-Induced Annealing / Temperature Distribution / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 112, no. 445, ED2012-142, pp. 77-82, 2013年2月. |
資料番号 |
ED2012-142 |
発行日 |
2013-02-20 (ED, SDM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
ED2012-142 SDM2012-171 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2012-142 SDM2012-171 |