令和3年度
独立行政法人日本学術振興会R032産業イノベーションのための結晶成長委員会 第1回研究会「R032委員会キックオフ研究会：結晶作製」, 2021年7月9日, オンライン開催
1)
(Invited) β酸化ガリウムの気相エピタキシャル成長の現状と展望
熊谷 義直
7月9日発表, 口頭.
The 12th International Conference on Information Optics and Photonics (CIOP 2021), July. 23-26, 2021, Convention Centre, Sofitel Xi’an on Renmin Square-Hotel, Xi’an, China
(Prerecorded presentation in Zoom for speakers residing outside mainland China)
2)
(Invited) Terahertz time-domain spectroscopy of wide-bandgap semiconductors GaN and β-Ga2O3
Verdad C. Agulto, Toshiyuki Iwamoto, Kazuhiro Toya, Valynn Katrine Mag-usara, Masayuki Imanishi, Ken Goto, Hisashi Murakami, Yoshinao Kumagai, Yusuke Mori, Masashi Yoshimura, Makoto Nakajima
Presentation: July. 25, Oral.
22nd American Conference on Crystal Growth and Epitaxy (ACCGE-22) and 20th US Workshop on Organometallic Vapor Phase Epitaxy (OMVPE-20), Aug. 2-4, 2021, Virtual Conference
3)
Investigation of OMVPE growth for beta gallium oxide by thermodynamic and experimental studies
Ken Goto, Kazutada Ikenaga, Nami Tanaka, Masato Ishikawa, Hideaki Machida, Yoshinao Kumagai
Presentation: Aug. 3, 1217, Oral.
第82回応用物理学会秋季学術講演会, 2021年9月10日-13日, オンライン開催
4)
多光子励起フォトルミネッセンス法によるβ-Ga2O3結晶の三次元イメージング
西河 巴賀, 塚越 真悠子, 後藤 健, 村上 尚, 熊谷 義直, 谷川 智之, 上向井 正裕, 片山 竜二
9月12日発表, 12p-N206-11, 口頭.
5)
MOVPE法を用いたβ-Ga2O3成長の熱力学解析とその実験的検証
後藤 健, 田中 那実, 西村 太郎, 池永 和正, 石川 真人, 町田 英明, 熊谷 義直
9月13日発表, 13p-S201-8, 口頭.
6)
Nondestructive Characterization of Carrier Density and Mobility in β-Ga2O3 Using Terahertz Waves
Verdad C. Agulto, Toshiyuki Iwamoto, Kazuhiro Toya, Valynn Katrine Mag-usara, Ken Goto,
Hisashi Murakami, Yoshinao Kumagai, Makoto Nakajima
9月13日発表, 13p-S201-11, 口頭.
第50回結晶成長国内会議（JCCG-50）, 2021年10月27日-29日, オンライン開催
7)
(Invited) MOVPE法によるβ-Ga2O3薄膜成長の検討
熊谷 義直, 西村 太郎, 田中 那実, 池永 和正, 石川 真人, 町田 英明, 後藤 健
10月27日発表, 27s-C14, 口頭.
日本結晶成長学会ナノ構造・エピタキシャル成長分科会 第13回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会,
2021年12月2日-4日, リジェール松山
8)
サファイア基板上へのHVPE c-In2O3(111)成長における基板オフ角の影響
後藤 健, 森 あかね, 富樫 理恵, 熊谷 義直
12月2日発表, Th-P01, ポスター.
9)
β-Ga2O3 (011)基板上へのSiドープβ-Ga2O3層成長
三浦 大, 大橋 知夏, 後藤 健, 熊谷 義直
12月2日発表, Th-P02, ポスター.
10)
有機金属気相成長法によるβ-Ga2O3成長の熱力学解析および実験的考察
西村 太郎, 田中 那実, 池永 和正, 石川 真人, 町田 英明, 後藤 健, 熊谷 義直
12月2日発表, Th-P03, ポスター. ＜発表奨励賞受賞＞賞状
11)
多光子励起フォトルミネッセンス法によるβ-Ga2O3結晶のナノパイプ観察
西河 巴賀, 塚越 真悠子, 後藤 健, 村上 尚, 熊谷 義直, 上向井 正裕, 谷川 智之, 片山 竜二
12月2日発表, Th-P05, ポスター.
独立行政法人日本学術振興会 結晶加工と評価技術第145委員会 第173回研究会「ワイドギャップ半導体Ga2O3結晶成長と評価、デバイス応用の最前線」, 2021年12月8日, オンライン開催
12)
(Invited) 高品質β-Ga2O3結晶のエピタキシャル成長技術
後藤 健, 村上 尚, 倉又 朗人, 山腰 茂伸, 東脇 正高, 熊谷 義直
12月8日発表, 口頭.
The 3rd International Workshop on Materials Science and Advanced Electronics Created by Singularity (IWSingularity 2022), Jan. 12-13, 2022, Nagoya Congress Center + Online, Nagoya, Japan
13)
(Invited) Investigation of MOVPE growth for beta gallium oxide by thermodynamic and experimental studies
Ken Goto, Kazutada Ikenaga, Nami Tanaka, Taro Nishimura, Masato Ishikawa, Hideaki Machida, and Yoshinao Kumagai
Presentation: Jan. 13, S-I13, Oral.
独立行政法人日本学術振興会 R032産業イノベーションのための結晶成長委員会 第6回研究会「R032委員会キックオフ研究会：ワイドギャップ半導体Ⅱ」, 2022年3月4日, オンライン開催
14)
(Invited) Ga2O3イオン注入ドーピング技術とそのデバイス応用
東脇 正高, Sandeep Kumar, 後藤 健, 村上 尚, 熊谷 義直
3月4日発表, 口頭.
第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022年3月22日-26日, ハイブリッド開催（青山学院大学相模原キャンパス＋オンライン）
15)
GaN高温HVPE成長のための熱力学解析モデルの修正
松岡 聖, 坂東 もも子, 大西 一生, 後藤 健, 新田 州吾, 村上 尚, 熊谷 義直
3月22日発表, 22a-E202-1, オンライン口頭.
16)
Vertical Trench Field-Plated Ga2O3 Schottky Barrier Diodes
Sandeep Kumar, Hisashi Murakami, Yoshinao Kumagai, Masataka Higashiwaki
3月22日発表, 22p-E302-5, 現地口頭.
17)
EFG成長(010)β-Ga2O3結晶中のナノパイプの三次元形状
西河 巴賀, 塚越 真悠子, 後藤 健, 村上 尚, 熊谷 義直, 上向井 正裕, 谷川 智之, 片山 竜二
3月25日発表, 25p-E202-11, 現地口頭.