大学院工学研究院
応用化学部門
熊谷 義直教授
 KUMAGAI Yoshinao
深紫外から赤外域の発光素子開発用の単結晶気相成長の研究
我々の毎日の生活を支え、時に我々の生活様式に革新をもたらす技術の一つに「結晶成長」という分野があります。 例えば、家ではPCやブルーレイディスク、外に出れば街頭のフルカラー大型ディスプレーや交通信号、そして長距離光通信や携帯電話、これらの機器には光･電子デバイスが多用されており、光･電子デバイスは様々な種類の単結晶が目的に応じて人工的に積層成長され作製されます。つまり、結晶と結晶成長技術が我々の私達の生活を支えていると言えます。


私達の研究室では、

・窒化アルミニウム（AlN）単結晶の成長
　　殺菌・ウイルス不活性化用途AlGaN系深紫外線LED開発
　　極限量子閉じ込め効果を利用した革新的高出力・高周波デバイス開発

・酸化ガリウム（Ga2O3）結晶成長技術開発とパワーデバイス応用
　　 β-Ga2O3ホモエピタキシャルウェハの開発
　　準安定相セスキ酸化物(Al2O3, Ga2O3, In2O3)半導体結晶成長技術の開発

・窒化物半導体結晶へのイオン注入技術開発

について精力的に研究を行っております。