Facilities

Fabrication devices

Electronbeam lithography (JBX-6300, JEOL)(共通設備@VBL CR)

電子線を使って描画する描画加工装置です

 

Thermal evaporator (SVC-70 Sanyu Electron Co. Ltd.)

金属ナノ構造体を作製するための蒸着装置です

 

 

Spin coater and Glove box (MS-A100 MIKASA Co Ltd. )

材料を塗布する装置です。グローブボックスは窒素置換できます

 

Plasma device (PiPi, Yamato Material Co., Ltd.)

材料や基板の表面処理を行う装置です

Oven (ADVANTEC, FUL210FA)

Characterization

Scanning electron micsorcope 電子顕微鏡

作製するメタマテリアルはナノメートルサイズなので、光線ではなく電子線を使って観察します

Microscopic spectroscopy (BX-51, Olympus; HR-4000, Ocean Optics)

形成するナノ構造体のエリアサイズは100ミクロン四方と微小なので、顕微鏡と組み合わせた分光器で光学評価を行います。

 

 

Potentiometer (HSV-110, HOKUTO DENKO CORP.)

太陽電池・熱電変換デバイスの電気的評価の際に使用します

 

 Multimeter (Model 2000, Keithley.)

 電流測定デバイスです

 COMSOL Multiphysics (COMSOL Inc.)

 電磁界計算(有限要素法)を行うためのPCとsoftwareです。

 

 Laser illuminatino system (Thorlabs. Inc.)

 熱電変換デバイスを評価するための光照射装置です

 

 Solar cell characterization system (Simadzu Corporation, SPG-120S)

 Solar simulator (Peccell Technologies Corporation, PEC-L01)

 太陽電池を評価するための疑似太陽光源です

 




 

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