平成26年度
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独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 | 「革新型太陽電池国際研究拠点整備事業「高度秩序構造を有する薄膜多接合太陽電池の研究開発」(配列制御ナノ結晶シリコン)」
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平成25年度
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内閣府・最先端研究開発支援プログラム「マイクロシステム融合研究開発」 | 「超並列電子線描画装置」
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独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 | 「革新型太陽電池国際研究拠点整備事業「高度秩序構造を有する薄膜多接合太陽電池の研究開発」(配列制御ナノ結晶シリコン)」
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平成24年度
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内閣府・最先端研究開発支援プログラム「マイクロシステム融合研究開発」 | 「超並列電子線描画装置」
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独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 | 「革新型太陽電池国際研究拠点整備事業「高度秩序構造を有する薄膜多接合太陽電池の研究開発」(配列制御ナノ結晶シリコン)」
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平成23年度
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内閣府・最先端研究開発支援プログラム「マイクロシステム融合研究開発」 | 「超並列電子線描画装置」
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独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 | 「ナノテク・先端部材実用化研究開発/ナノシリコンによる広帯域デジタル音源の開発」
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独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 | 「革新型太陽電池国際研究拠点整備事業「高度秩序構造を有する薄膜多接合太陽電池の研究開発」(配列制御ナノ結晶シリコン)」
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平成22年度
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内閣府・最先端研究開発支援プログラム「マイクロシステム融合研究開発」 | 「超並列電子線描画装置」
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独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 | 「ナノテク・先端部材実用化研究開発/ナノシリコンによる広帯域デジタル音源の開発」
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独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 | 「革新型太陽電池国際研究拠点整備事業「高度秩序構造を有する薄膜多接合太陽電池の研究開発」(配列制御ナノ結晶シリコン)」
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平成21年度
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独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 | 「ナノテク・先端部材実用化研究開発/ナノシリコンによる広帯域デジタル音源の開発」
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独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 | 「革新型太陽電池国際研究拠点整備事業「高度秩序構造を有する薄膜多接合太陽電池の研究開発」(配列制御ナノ結晶シリコン)」
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独立行政法人科学技術振興機構 | 「可視発光の高効率高安定化、弾道電子放出の機構解析・応用探索」
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平成20年度
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独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 | 「革新型太陽電池国際研究拠点整備事業「高度秩序構造を有する薄膜多接合太陽電池の研究開発」(配列制御ナノ結晶シリコン)」
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カンタム14 | 「シリコン切断反応の機構解」
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独立行政法人科学技術振興機構 | 「可視発光の高効率高安定化、弾道電子放出の機構解析・応用探索」
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平成19年度
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独立行政法人科学技術振興機構 | 「ネオシリコンの発光、電子放出特性の評価」
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カンタム14 | 「反応機構の解析(陽極酸化機構)」
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農工大TLO | 「ナノシリコン薄膜作成に関する評価」
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平成18年度
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独立行政法人科学技術振興機構 | 「ネオシリコンの発光・電子放出特性」
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平成17年度
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独立行政法人科学技術振興機構 | 「ネオシリコンの発光・電子放出特性」
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平成16年度
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科学技術振興機構 | 「ネオシリコンの発光特性、電子放出特性の評価」
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科学技術振興機構 | 「ネオシリコンによるナノメカ・情報エレクトロニクス」
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平成15年度
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科学技術振興事業団 | 「ネオシリコンの発光特性・電子放出特性の評価」
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