SEM（XL-30）の利用上の注意事項

観察時のトラブルが、共通の操作上のミスによるものが多いため、このページにまとめてみました。

トラブルの際は、必ず「利用記録簿」に不調内容やそのときの操作手順を記録するとともに、

高柳（内7188または7422）宛にもその内容を報告してください。

真空度について

XL-30は定期的に真空度を向上させる作業を行う必要があります。

この作業は無用なトラブルを回避するため、管理者のみが行うこととしていますので、

真空度劣化の際は使用記録簿に記録するだけではなく、必ず管理者へ連絡をお願いします。

目安としては、「利用終了時のPgun値が7.5x10^(-8)を超えているとき」です。

真空度が劣化しているのに報告がないため、次の利用者が短時間しか利用できないケースが目立っております。

効率よく装置を利用して、気分良く共有できるようご協力ください。